型號:THS-10 品牌:日本UNION 原產(chǎn)地:日本
厚度測量:
測量步驟: 1.在工作臺未放置工件時,垂直移動上對焦系統(tǒng),待兩個顯示器上都顯示對焦準確的符號后,將Z軸計數(shù)器歸零。
2.放上工件,移動下對焦系統(tǒng),對工件底部對焦。
3.移動上對焦系統(tǒng),對工件上表面對焦。上對焦系統(tǒng)移動的距離即為工件的厚度。
技術規(guī)格:
型號
測量行程
精度
THS-10
X:100mm Y:100mm
1um(0.1um 可選配)