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測量顯微鏡簡介

 

  測量顯微鏡概念

  測量顯微鏡,采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360?;的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。

  測量顯微鏡分類

  測量顯微鏡可分:(1)光學(xué)測量顯微鏡、(2)數(shù)碼測量顯微鏡兩類。

  光學(xué)測量顯微鏡

  采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

  主要優(yōu)點:工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360;的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的固定場所小型精密測量儀器。

  數(shù)碼測量顯微鏡

一種將將顯微鏡看到的實物圖像通過數(shù)模轉(zhuǎn)換,使其成像在顯微鏡自帶的屏幕上或計算機上的顯微鏡設(shè)備。特別適用于制造業(yè)、精密零件以及不方便移動的物件的觀察測量。廣泛地適用于生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

  主要優(yōu)點:小巧便攜,只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像,進(jìn)行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用,已成為一種可靠實用的精密測量儀器。

  測量顯微鏡基本原理

  與STM類似,在AFM中,使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當(dāng)針尖和樣品表面的距離非常接近時,針尖尖端的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N),此時,微懸臂就會發(fā)生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律:F=-k*x ,其中,k為微懸臂的力常數(shù)。所以,只要測出微懸臂形變量的大小,就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。

  針尖與樣品之間的作用力與距離有強烈的依賴關(guān)系,所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定,即保持為懸臂的形變量不變,針尖就會隨樣品表面的起伏上下移動,記錄針尖上下運動的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恒力”模式(Constant Force Mode),是使用最廣泛的掃描方式。

  AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)來獲得,也就是在X,Y掃描過程中,不使用反饋回路,保持針尖與樣品之間的距離恒定,通過測量微懸臂Z方向的形變量來成像。這種方式不使用反饋回路,可以采用更高的掃描速度,通常在觀察原子、分子像時用得比較多,而對于表面起伏比較大的樣品不適用。

  測量顯微鏡技術(shù)參數(shù)

  基本參數(shù):

  1、鏡筒:粗動:調(diào)節(jié)范圍 90毫米,微動:調(diào)節(jié)范圍2毫米,高(Z)測量:范圍1毫米,最小讀數(shù)0.001毫米(比較測量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45?;

  2、工作臺:左右(X軸):移動范圍25毫米,前后(Y軸):移動范圍25毫米,分辨率:1微米,旋轉(zhuǎn):360?;

  3、照明系統(tǒng):光源:透射照明,8V12W 藍(lán)、綠色濾光片,反射照明,8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片,斜 照 明,8V12W綠色濾光片,電源:AC220±22V 50/60Hz;

  4、光學(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X;物鏡:4X、工作距離17.5、焦距28.8,10X、工作距離11.6、焦距15.4,40X、工作距離0.66、焦距4.4;

  5、X---Y軸測量范圍:50×13mm;

  6、測微器分度值:0.01mm;

  7、圓工作臺角度測量范圍:0°/360°;

  8、儀器測量準(zhǔn)確度:儀器示值誤差±(5+L/15);

  9、放大倍數(shù) 25×/100×

  測量顯微鏡主要特點

  選購件:下照明/斜照明/成橡系統(tǒng)/顯微圖像處理系統(tǒng)等等

  儀器作用:

  1、直角坐標(biāo)中測定長度

  2、旋轉(zhuǎn)度盤測定角度

  3、用作觀察顯微鏡

  4、利用微微動載物臺之移動,配全目鏡之十字座標(biāo)線,作長度量測。

  5、利用旋轉(zhuǎn)載物臺與目鏡下端之游標(biāo)微分角度盤,配全合目鏡之址字座標(biāo)線,作角度量測,令待測角一端對準(zhǔn)十字線與之重合,然再讓另一端也重合。

  6、利用標(biāo)準(zhǔn)檢測螺紋的節(jié)距、節(jié)徑、外徑、牙角及牙形等尺寸或外形。

  7、檢驗金相表面的晶粒狀況。

  8、檢驗工件加工表面的情況。

  9、檢測微小工件的尺寸或輪廓是否與標(biāo)準(zhǔn)片相符。

  107JPC測量顯微鏡,采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄象磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。

  107JPC為光柵數(shù)顯的小型精密測量儀器。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可以作360?的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。

  測量顯微鏡主要功能

  具體功能:

  ● 自動尋邊測量功能

  可根據(jù)取點范圍,自動識別線、圓、弧,具有極強的去毛邊的功能,并極大地提高線距、線夾角、圓半徑、弧半徑測量精度,避免人工誤差。

  ● 幾何測量功能

  線、圓、矩形、多邊形、角度等測量工具,對圖像上兩點距離、線段長度、線距、圓半徑直徑、面積、角度、矩形、折線、多邊形、點線、平行線距的等幾何參數(shù)進(jìn)行測量。

  ● 視頻處理功能

  視頻的實時播放,暫停,停止功能;

  自動白平衡,自動曝光功能;

  視頻參數(shù)設(shè)置功能(RGB設(shè)置,gamma調(diào)節(jié),曝光設(shè)置,偏移量設(shè)置等等);

  視頻縮放顯示及視頻大小控制功能;

  視頻上下、左右反轉(zhuǎn)功能等;

  視頻采集功能,包括靜態(tài)捕獲、原始圖像采集

  ● 圖像處理功能

  圖像模糊及銳化;

  亮度/對比度調(diào)節(jié);

  RGB增益調(diào)節(jié);

  多幅圖片組合功能,包括圖片間邏輯與,邏輯或,疊加等操作;鏡像,旋轉(zhuǎn)功能;

  提取邊緣功能;

  浮雕效果;

  圖像對比功能(即把拍下來的兩張或多張圖像在同一窗口顯示進(jìn)行比較);

  圖像拼接功能;

  單獨選擇圖像的某一個部份進(jìn)行操作。

  ● 圖像數(shù)據(jù)管理與輸出

  圖像庫瀏覽、圖像標(biāo)注、文字操作、打印等功能實現(xiàn);

  測量圖片可存為bmp、jpg格式。

  測量顯微鏡主要用途

  主要使用與電子工業(yè)、五金行業(yè)、以及一些精密工程,在塑膠行業(yè)和醫(yī)療業(yè),生物物醫(yī)學(xué)、公安系統(tǒng)等等有廣泛的應(yīng)用,特別是在電子工業(yè)比如觀察電路板的構(gòu)造,觀察零件直接的精確距離,是不可缺少的精密儀器。

  測量顯微鏡發(fā)展歷史

  顯微鏡早在公元前一世紀(jì),人們就已發(fā)現(xiàn)通過球形透明物體去觀察微小物體時,可以使其放大成像。后來逐漸對球形玻璃表面能使物體放大成像的規(guī)律有了認(rèn)識。

  1590年,荷蘭和意大利的眼鏡制造者已經(jīng)造出類似顯微鏡的放大儀器。

  1610年前后,意大利的伽利略和德國的開普勒在研究望遠(yuǎn)鏡的同時,改變物鏡和目鏡之間的距離,得出合理的顯微鏡光路結(jié)構(gòu),當(dāng)時的光學(xué)工匠遂紛紛從事顯微鏡的制造、推廣和改進(jìn)。

  17世紀(jì)中葉,英國的胡克和荷蘭的列文胡克,都對顯微鏡的發(fā)展作出了卓越的貢獻(xiàn)。

  1665年前后,胡克在顯微鏡中加入粗動和微動調(diào)焦機構(gòu)、照明系統(tǒng)和承載標(biāo)本片的工作臺。這些部件經(jīng)過不斷改進(jìn),成為現(xiàn)代顯微鏡的基本組成部分。

  1673~1677年期間,列文胡克制成單組元放大鏡式的高倍顯微鏡,其中九臺保存至今。胡克和列文胡克利用自制的顯微鏡,在動、植物機體微觀結(jié)構(gòu)的研究方面取得了杰出成就。

  19世紀(jì),高質(zhì)量消色差浸液物鏡的出現(xiàn),使顯微鏡觀察微細(xì)結(jié)構(gòu)的能力大為提高。

  1827年阿米奇第一個采用了浸液物鏡。

  19世紀(jì)70年代,德國人阿貝奠定了顯微鏡成像的古典理論基礎(chǔ)。這些都促進(jìn)了顯微鏡制造和顯微觀察技術(shù)的迅速發(fā)展,并為19世紀(jì)后半葉包括科赫、巴斯德等在內(nèi)的生物學(xué)家和醫(yī)學(xué)家發(fā)現(xiàn)細(xì)菌和微生物提供了有力的工具。 在顯微鏡本身結(jié)構(gòu)發(fā)展的同時,

  顯微觀察技術(shù)也在不斷創(chuàng)新:

  1850年出現(xiàn)了偏光顯微術(shù);

  1893年出現(xiàn)了干涉顯微術(shù);

  1935年荷蘭物理學(xué)家澤爾尼克創(chuàng)造了相襯顯微術(shù),他為此在1953年獲得了諾貝爾物理學(xué)獎。 古典的光學(xué)顯微鏡只是光學(xué)元件和精密機械元件的組合,它以人眼作為接收器來觀察放大的像。后來在顯微鏡中加入了攝影裝置,以感光膠片作為可以記錄和存儲的接收器?,F(xiàn)代又普遍采用光電元件、電視攝像管和電荷耦合器等作為顯微鏡的接收器,配以微型電子計算機后構(gòu)成完整的圖像信息采集和處理系統(tǒng)。目前全世界最主要的顯微鏡廠家主要有:奧林巴斯、蔡司、徠卡、尼康。國內(nèi)廠家主要有:江南、麥克奧迪、偉達(dá)集團(tuán)等。

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