品牌:UNION
型號(hào):HISOMET系列
產(chǎn)地:日本
非接觸式深度測(cè)量工具顯微鏡
日本Union DH2高精度非接觸深度測(cè)量顯微鏡
采用光學(xué)和非接觸方法探測(cè)焦距的方法，測(cè)量不會(huì)給樣品造成變形或劃痕等影響，這些往往是采用物理性接觸測(cè)量時(shí)產(chǎn)生的?；谀繕?biāo)分光方法原理的精密聚焦指示器的應(yīng)用，以簡(jiǎn)單地把兩個(gè)目標(biāo)標(biāo)志部分重合起來進(jìn)行高精度的測(cè)量..
XY Z軸測(cè)量精度0.1微米或0.5微米可選.
功能：
非接觸測(cè)量微細(xì)的撞擊、臺(tái)階等。
◎ 通過高精度的光學(xué)聚焦點(diǎn)檢測(cè)和精確的聚 焦指示器完成高精確的測(cè)量
◎ 簡(jiǎn)單的操作
◎ Z軸測(cè)量行程可從幾個(gè)μm 到10mm
◎ 同時(shí)還可以完成測(cè)量點(diǎn)的表面觀察
觀 測(cè) 頭： 三目
Z軸測(cè)量范圍： 0.1μm 讀數(shù)，20mm 行程
Z軸測(cè)量精度： 3σ=1μm (40×)
光學(xué)鏡身： 精確的自動(dòng)聚焦單元
物 鏡： 5× - 100×
測(cè)量軟體： 4種模式
資料處理軟體： 顯示最大值，最小值，平均值，標(biāo)準(zhǔn)偏差值等
HISOMET系列工具顯微鏡為一專業(yè)X、Y、Z軸座標(biāo)測(cè)量顯微鏡，X、Y工作臺(tái)行程由100*200mm到大行程500*500mm，放大倍數(shù)由5至1000×。為求提高工件在Z軸深度/高度測(cè)量時(shí)的精度，Z軸對(duì)焦采用一專利光學(xué)“裂像指示器”，結(jié)合精密的Z軸“Cross Roller Bearing”導(dǎo)軌，可測(cè)范圍25 mm，精度高達(dá)1μm，配合特殊附件，測(cè)量分解度更可達(dá)0.5μm或0.1μm.
技術(shù)規(guī)格
型號(hào)：DH II
工作臺(tái)行程：100*200mm/150*300mm/500*500mm
Z軸測(cè)量范圍：25mm/25mm/25mm
三軸分解度：0.001mm
Z軸讀數(shù)裝置：ID-F內(nèi)置數(shù)顯表/外置數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)目鏡：10X
標(biāo)準(zhǔn)物鏡：10X
讀數(shù)系統(tǒng)
DRO200S簡(jiǎn)易坐標(biāo)讀數(shù)器/QC200多功能數(shù)據(jù)處理器/QC5000測(cè)量軟件電腦系統(tǒng)
本文有偉達(dá)集團(tuán)整理（測(cè)量顯微鏡）www.pp3m.com
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機(jī)械
